Fraunhofer IZM(德國)

Fraunhofer IZM

德國FraunhoferIZMwww.izm.fraunhofer.de弗勞恩霍夫協會可靠性和微集成研究所多設備集成部于1998年成立于德國薩克森地區的開姆尼斯市。基礎領域是微（納米）機電系統(MEMS)的開發、在硅片和其他材料上制造微機電系統的技術和設備。未來，該部門還將研究應用于未來微電子、納米電子、印刷電子系統的后段制程技術，這一技術將普遍降低智能系統的應用成本，檢驗智能系統的微觀可靠性和納 米可靠性。不久的將來，該系統將具有更多的功能，例如：運用硅技術或非硅技術將信號傳輸過程、信息傳輸過程中的電子與傳感器、制動器整合在一起。我們的理念就是讓所謂的多設備集成系統越來越小。主要研究活動：設計、開發微機電系統●微機電系統設計、成型●傳感器、制動器、電子（例如：加速傳感器、回轉儀、掃描儀）●變頻器、分析器（即：分光計、超聲）●測量和表征后段制程(BOEL)●旋布絕緣層、氣隙結構、低介電值集成●銅互連鍍金屬設備（例如：45納米間距）、擴散障礙層●尺寸縮小帶來的影響、可靠性、成型和仿真技術開發●3D成型、深硅刻蝕、引線合鍵、硅片鍵合、晶片鍵合技術●化學機械拋光●微機電系統晶圓級封裝微系統可靠性和納米可靠性●微系統可靠性，如：汽車制造領域和IT領域內的微系統可靠性●可靠性、小型化與微型安全的結合●熱機仿真和納米可靠性ThedepartmentMultiDeviceIntegrationwasfoundedin1998andislocatedinChemnitz,Saxony.ItsbasicfieldsarethedevelopmentofMicro-(Nano)-Electro-Mechanical-Systems(MEMS),technologiesandequipmentformanufacturingMEMSin