AIXUV(德國)

AIXUV

德國AIXUVGmbHwww.aixuv.deAIXUV有限公司是一家ExtremeUltravioletradiation-XUV（極紫外線輻射）系統光源和部件的供應商。該公司的核心產品是基于壓縮氣體發光的EUV（極紫外線）燈，這種燈主要用于EUV平板印刷元件的開發，或作為一種新的分析手段。XUV（極紫外線輻射）的光譜范圍介于X-光和真空紫外線之間。在此范圍內，內核電子的光電效應占主導地位。XU V光譜范圍包括X軟光（用來檢測活細胞）和EUV（可能應用于將來的芯片平版印刷）。EUV同時支持10納米級的橫向解析度和的交叉截面，這使得XUV特別適合應用于未來的芯片生產和納米技術。我們的EUV燈附加了環形光束，可用于單獨的實驗室。我們為客戶開發部件，甚至整個全自動系統解決方案。與客戶一邊溝通一邊進行開發是最有效最成功的方法。AIXUV有限公司的EUV燈電極壽命超過1000小時并且適用于多種用途。我們的客戶用EUV燈開發出了用來檢測EUV光源特性的量具，并將EUV燈應用于EUV顯微鏡。此外，我們根據客戶的需要開發了以EUV燈為基礎的工具，用于檢測EUV的曝光性和EUV反射計的特性。AIXUVGmbH(pronounced:aex-u-v)isasupplierofsources,componentsandsystemsusingExtremeUltravioletradiation.AIXUV?scoreproductisthecompactgasdischargebasedEUV-lampwhichisusedforthedevelopmentofcomponentsforEUVlithographyandfornewanalyticalapproaches.ExtremeUltravioletradiation(XUV)isthespectralrangebetweenX-raysandvacuumultraviolet.Thespectralrange