產品介紹:

Tropel?FM200?為精密部件的制造商提供了業界的表面形態測量。通過非接觸式光學測量技術記錄下整個表面的數據。FM200能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線型和其他表面參數進行測量。

產品特點：

■     無接觸和無損傷測量

■     適用多種類型材料：半導體，金屬，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料

■     適用多種類型晶片：硅/藍寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰

■     適用多種類型表面：研磨表面，拋光面，超光滑面

■     測量多種不同指標：

厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓

■     完整的分析系統：

三維/拓撲/合格率/分布/二維環形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度

■     可以實現自動、快速、準確、穩定的測量

■     超過15年的工業應用，幾百臺的裝機量

技術參數：

■    度：50nm （2.0μ″）

■     重復性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）

■     分辨率：5nm （0.2μ″）

■     可測量工件尺寸：25mm-200mm

■     動態測量范圍：>100um

■     測量數據點：230,000 / measurement

■     測量時間：5秒

■     電源：～220V  50Hz   

典型客戶:

國外：Honeywell Electronic Materials，SEI，Showa Denko，SESMI，Saint Gobain，Nikko Materials，Hitachi Cable，Freiberger Compound Materials，Crystal Tech，Samsung，LG，Crystalwise，Wafer Works……

國內：塞維，重慶四聯，中電46所，山東大學，大連理工大學，中國科學院半導體所，中國科學院物理所，中科晶電，中科鎵英，云南藍晶，青島嘉星晶電，天科合達，大慶佳昌……

詳情歡迎來電咨詢：

北京合能陽光新能源技術有限公司

北京市通州區工業開發區光華路16號

電話： -104   傳真：-608

聯系人：肖經理  QQ：454972757

Email：

公司網站：https://www.HenergySolar.com