| 品牌 | 鑫瑞 | 型號 | SK5530A |
u 重合：&plun;2μm
u X Y線性：&plun;(3+L/100)μm
u Z線性：&plun;(2.5+L/100)μm
u 測量范圍：300*200*100mm
u 位移解析：0.4μm
u 位移驅動：0.1μm
u 放大倍率：35－225X
u 光學成像：CCD優質成像方式（技術）
u 運動控制：伺服控制模式（技術）
u 用戶文件：《儀器校準證書》
u 取邊速度：3ms／per
u 平臺尺寸：612×413mm
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免企業未認證證營業執照未上傳
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