| 品牌 | 鑫瑞 | 型號 | SK5530A |
u 重合:&plun;2μm
u X Y線性:&plun;(3+L/100)μm
u Z線性:&plun;(2.5+L/100)μm
u 測量范圍:300*200*100mm
u 位移解析:0.4μm
u 位移驅動:0.1μm
u 放大倍率:35-225X
u 光學成像:CCD優質成像方式(技術)
u 運動控制:伺服控制模式(技術)
u 用戶文件:《儀器校準證書》
u 取邊速度:3ms/per
u 平臺尺寸:612×413mm
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| 品牌 | 鑫瑞 | 型號 | SK5530A |
u 重合:&plun;2μm
u X Y線性:&plun;(3+L/100)μm
u Z線性:&plun;(2.5+L/100)μm
u 測量范圍:300*200*100mm
u 位移解析:0.4μm
u 位移驅動:0.1μm
u 放大倍率:35-225X
u 光學成像:CCD優質成像方式(技術)
u 運動控制:伺服控制模式(技術)
u 用戶文件:《儀器校準證書》
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