日本OTSUKA公司 FE系列膜厚測(cè)量系統(tǒng)_其他光學(xué)儀器

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藍(lán)龍香港有限公司

免企業(yè)未認(rèn)證證營業(yè)執(zhí)照未上傳

經(jīng)營模式：工廠

所在地：廣東省

主營產(chǎn)品：LED檢測(cè)設(shè)備;照明檢測(cè)設(shè)備;LCD檢測(cè)設(shè)備;積分球;Labsphere公司產(chǎn)品;分光光譜儀;OTSUKA公司產(chǎn)品;粒徑膜厚分析儀;氣體分析儀;

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品牌	日本大塚OTSUKA旗下Photal	型號(hào)	FE series
用途	膜厚測(cè)量

配合多元需求，客製化的非接觸式光學(xué)膜厚量測(cè)系列。190～1600nm的廣域量測(cè)，0.1nm～250μm的多層膜解析。從研究開發(fā)的桌上型裝置，到製造生產(chǎn)取向的大型自動(dòng)化搬送系統(tǒng)等皆有完整的解決方案。

橢圓偏光儀
FE-5000

反射式膜厚量測(cè)儀
FE-3000

膜厚光譜分析儀系統(tǒng) MCPD series

桌上型橢圓偏光儀
FE-5000S

膜厚量測(cè)儀
FE-300

平面顯示器膜厚量測(cè)裝置
FE seires

半導(dǎo)體膜厚量測(cè)裝置
FE series

生產(chǎn)線製程膜厚量測(cè)系統(tǒng)
MCPD series

      橢圓偏光儀 FE-5000/FE-5000S

      反射式膜厚量測(cè)儀 FE-3000

      膜厚量測(cè)儀 FE-300

      膜厚光譜分析儀系統(tǒng) MCPD series

橢圓偏光儀 FE-5000 奈米等級(jí)的橢圓偏光膜厚儀，適用於解析多層膜膜厚、膜質(zhì)管理、光學(xué)常數(shù)（n:屈折率；k:衰減係數(shù)）。

膜厚量測(cè)範(fàn)圍	0.1nm ~ 1000nm
波長量測(cè)範(fàn)圍	250nm ~ 1100nm

桌上型橢圓偏光儀 FE-5000S 自動(dòng)變換角度的量測(cè)功能，可達(dá)到全角度的高解析。以合理的價(jià)格提供膜厚、光學(xué)常數(shù)解析的新光譜式橢圓偏光儀。

膜厚量測(cè)範(fàn)圍	0.1nm ~ 1000nm
波長量測(cè)範(fàn)圍	300nm ~ 800nm

反射式膜厚量測(cè)儀 FE-3000 薄膜到厚膜的廣域量測(cè)範(fàn)圍，多層膜解析、微小口徑量測(cè)等，解決各式各樣的膜厚分析。

膜厚量測(cè)範(fàn)圍	1nm ~ 250μm
波長量測(cè)範(fàn)圍	190nm ~ 1600nm

膜厚量測(cè)儀 FE-300 繼承FE-3000的齊，提供固定平臺(tái)與自動(dòng)對(duì)位平臺(tái)兩種規(guī)格。低價(jià)格並不影響高量測(cè)的表現(xiàn)。

膜厚量測(cè)範(fàn)圍	10nm ~ 40μm
波長量測(cè)範(fàn)圍	300nm ~ 800nm

膜厚光譜分析儀系統(tǒng) MCPD series 光纖可依照需求建構(gòu)出多樣的量測(cè)系統(tǒng)，製程生產(chǎn)線的即時(shí)監(jiān)控或環(huán)境的量測(cè)架設(shè)等，皆有完整的解決方案。

膜厚量測(cè)範(fàn)圍	800nm ~ 250μm
波長量測(cè)範(fàn)圍	220nm ~ 1600nm

TOP 平面顯示器膜厚量測(cè)裝置 FE series可對(duì)應(yīng)各世代的樣品尺寸

應(yīng)用範(fàn)圍
LCD	ITO/Gl,PI/OC/Gl,CF/Gl,Resist/Gl
TFT	SiN/a-Si/Gl
有機(jī)OLED	有機(jī)OLED/ITO/Gl
PDP	鐵導(dǎo)層/Gl

半導(dǎo)體用膜厚量測(cè)裝置 FE series∮300mm晶圓膜量測(cè)的全自動(dòng)搬送裝置

應(yīng)用範(fàn)圍
Si半導(dǎo)體晶圓膜	SiO2/Si,Resist/Si,SiO2/a-Si,SiO2/SiN/SiO2

TOP 製程生產(chǎn)線膜厚量測(cè)系統(tǒng):MCPD series（可配合各式傳輸裝置及生產(chǎn)線）各式薄膜生產(chǎn)線、遠(yuǎn)距離量測(cè)、多點(diǎn)同時(shí)量測(cè)
(1) 顯微鏡量測(cè)端 (2) X-Y軸量測(cè)平臺(tái)【顯微鏡量測(cè)架構(gòu)】
以絕對(duì)反射率達(dá)到高的微小口徑膜厚解析。
(1) 分光光譜儀主機(jī)
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(4) 量測(cè)用光源
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