美國瓦里安檢漏儀_安全儀器

廈門太星機電有限公司

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氦質譜檢漏儀

1972 年由瓦里安公司首先在氦質譜檢漏儀的設計中提出了逆流式的概念，使得目前的氦質譜檢漏儀全部采用逆流式的方法進行檢漏。

瓦里安的發明之一，優點在于：

·極大的排氣量

·前級耐壓高達 18mbar

·壓縮比提高了幾個數量級卻絲毫不增加泵的體積和重量，對質量輕的氣體更為顯著。

VＳ系列氦質譜檢漏儀

特性及優點

性能指標	PR02	MR15&MD30
性能	前級泵內置式	前級泵外置式及小車
前級泵油式機械泵	DS-42 2 m³/hr (34 l/m)	DS-302 14 m³/hr (232 l/m)
渦卷式干泵	N/A	TS-620 30 m³/hr (500 l/m)
小可檢漏率在1000ppm的氦氣背景下	5×10^-12atm cc/sec； 5×10^-12mbar l/s；5×10^-13Pa m³/sec helium
測試口耐壓	16 mbar，12 Torr，1600 Pa
測試口處對氦氣抽速	1.8 l/s
校準程序	自動或手動（內置或外置）
氦本底清零	按鍵清零，并具有零點追蹤功能
操作界面	高清晰彩顯，TFT觸摸屏
語言選擇	中文/英語/法語/德語/日語/韓語/西班牙語
循環檢測	可編程粗抽時間/測試時間，設置報廢點
響應時間	＜1.0秒
設定點	標準；5個設定點；常開或常閉；3個漏率點；1個壓強點；1個聲訊點
通訊協議	RS-232 通訊借口，9600波特率（9芯竄口）
執行標準	UL，CE，CSA