產品特點：
• ±1%度
•線性輸出
•低成本
•熱感技術
•流量可達到75 SLM
•包含電源
FMA-A2100/2200/2300/2400系列質量流量計/質量流量控制器具有性能高，功能多樣化的特點，并采用先進設計封裝。FMA-A2100/ 2200/2300/2400采用毛細管式熱感技術，直接測量氣體流量。沒有溫度,壓力或平方根修正是必要的。FMA-A2300/2400系列擁有液晶顯示器，且所有型號擁有0-5 和 4-20 mA 的線性輸出。
FMA-A2100/2200/2300/2400系列質量流量計/質量流量控制器測量范圍為從0-10 SCCM 到 0-100 SLM的氣體流量。參照產品目錄查看具體參數。FMA-A2100/2200/ 2300/2400系列產品適合測量無腐蝕性氣體。建議用戶檢查氣濕材料的兼容性。
OMEGA的系列質量流量計/質量流量控制器使用內部電磁流量閥控制流量率。內部設定值或0-5伏外接電源都可以提供一個控制信號。
產品規格：
: ±1% 滿刻度，包括線性度
重復性：±0.15%滿刻度或更好
極限負荷比：100:1
響應時間：5秒
氣體環境溫度：0 到 50°C (32 到 122°F)
溫度系數: 0.05% 滿刻度/ 1°C 或更好
壓力系數: 0.01% 滿刻度/ PSI 或更好
小壓力需求：
Meters: 1'' H2O
控制器 ≤1 SLM: 1 psi
控制器 >20 SLM: 20 psi
流量控制器的壓力差：
<5 LPM: 標準為5 到 50 psi
>5 LPM: 標準為20 到 40 psi
氣體壓力：
聚甲醛: 250 psig
316 SS: 500 psig
泄漏率: 1 x10-6 cc⁄min of He 或更好
接觸氣體部分：
標準:聚甲醛, FKM O-rings
可選: 316 SS, FKM O-rings
連接部分：標準1/4 FNPT；1/4"全不銹鋼壓力接頭
輸入/輸出 接口：9-pin sub-D 接口
控制信號：0 到 5 Vdc
控制閥：電磁常閉
輸出信號：線性0 到5 Vdc, 1000 Ω 小負載, 4 到 20 mA, 500 Ω 回路電阻
輸入電源：
Meters: 24 Vdc @ 150 mA, 115 Vac, 220 Vac 配備變壓器
控制器: 24 Vdc @ 300 mA, 115 Vac, 220 Vac 配備變壓器
重量：1.25 kg (2.75 lb) 帶電源
范圍表
| Code | SCCM | Code | SLM | Code | SLM |
| 00 | 0-10 | 06 | 0-1 | 14 | 0-35 |
| 01 | 0-20 | 07 | 0-2 | 15 | 0-40 |
| 02 | 0-50 | 08 | 0-5 | 16 | 0-45 |
| 03 | 0-100 | 09 | 0-10 | 17 | 0-50 |
| 04 | 0-200 | 10 | 0-15 | 18 | 0-55* |
| 05 | 0-500 | 11 | 0-20 | 19 | 0-60* |
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| 12 | 0-25 | 20 | 0-65* |
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| 13 | 0-30 | 21 | 0-70* |
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| 22 | 0-75* |
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| 23 | 0-100* |
*只針對 FMA-A2100/2300 系列產品
| 產品編號 | 描述 |
| FMA-A21(*) | 流量計不含顯示器, 量程從 0-10 SCCM 到 0-75 SLM |
| FMA-A22(*)-SS-(**) | 流量計帶有控制閥, 量程從 0-10 SCCM 到 0-50 SLM, |
| FMA-A23(*) | 配有顯示器, 量程從 0-10 SCCM 到0-75 SLM |
| FMA-A24(*)-SS-(**) | 配有顯示器和控制閥, 量程從 0-10 SCCM 到 0-50 SLM, 外身材是為316 SS |
*選擇輸入上一表格的編碼使產品編號完整。
**指定氣體, 輸入壓力/輸出壓力, 溫度。
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服務網址：www.wendu365.com
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