SMX-BEN臺式X射線熒光光譜薄膜成分、薄膜厚度測量系統
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龍定國14
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產品特色∶
1.針對薄膜太陽能電池生產過程研發、工藝開發、失效分析過程而設計，有效減低成本，提供產品品質。
2.超大樣品室，高：56厘米、寬：54厘米、長：74厘米。
3.針對CIGS各種鍍層材質的濾波器，共5種
4.樣品臺X-Y-Z三軸自動定位，移動范圍20 x 20 x 15cm，帶防撞保護、自動聚焦、LED燈照明功能。
5.微聚焦、帶鈹窗、高性能X射線源
6.采用新高科技的高靈敏度的硅PIN檢測器，靈敏度高，壽命長。
7.配多規格圓形及矩形電機驅動定位準直器
8.輻射安全保護裝置
9.Mira XRF軟件系統功能強大，具備數據分析、傳輸及以太網功能
SMX-BEN 屬高階的薄膜太陽能電池分析儀
薄膜太陽能電池CIGS/CdTe分析儀
可分析范圍：
(1)分析CIGS各鍍層的厚度及成份同時測量。
(2)分析CdTe之各鍍層的厚度及成份同時測量。
(3)三、五族元素各鍍層的成分比例及厚度分析
技術參數
50kV，多段電壓切換
4-1000μA，可做自動調整設定
共五個濾波器，自動切換
電冷式偵測器
