橢圓偏光儀 FE-5000產(chǎn)品特點：1. 橢圓偏光方式分析紫外到可視波長領(lǐng)域（250~800nm）。2. 奈米等級的多層膜膜厚分析 。3. 400波長以上的多頻分光法，迅速量測出橢圓偏光光譜。4. 自由變換反射量測角度，可得到更詳細(xì)的薄膜解析數(shù)據(jù)。5. 光學(xué)常數(shù)的數(shù)據(jù)庫管理化、量測條件（Recipe）的登錄功能等，讓操作使用性更加便利。6. 小二乘法多層膜解析、光學(xué)常數(shù)量測。適用于膜厚、膜質(zhì)的質(zhì)量管理。?測量項目：橢圓偏光量測（tanΨ,cosΔ）光學(xué)常數(shù)分析（n:屈折率，k:衰減系數(shù)）膜厚分析?應(yīng)用范圍：半導(dǎo)體晶圓　晶體管閘極（Gate）氧化薄膜、氮化膜，電極材料等　SiO2,SixOy,SiN,SiON,SiNx,Al2O3,SiNxOy,poly-Si,ZnSe,BPSG,TiN　光阻劑光學(xué)常數(shù)（波長色散）化合物半導(dǎo)體　AlxGa（1-x）As多層膜、非結(jié)晶矽平面顯示器　配向膜　電漿顯示器用ITO、MgO等各種新材料　類鉆碳薄膜（Diamond Like Carbon）、超傳導(dǎo)性薄膜、磁性讀取頭薄膜光學(xué)薄膜　TiO2、SiO2、多層膜、抗反射膜、反射膜平版印刷領(lǐng)域　g 線（436nm）、h 線（405nm）、i 線（365nm）、KrF（248nm）等于各波長的n，k值評價?規(guī)格：膜厚量測范圍?????? 0.1 nm ~?波長量測范圍?????? 250 ~ 800 nm（可選擇350~1000nm）感光組件?????????? 光電二極管數(shù)組512ch(電子冷卻)入射/反射角度范圍?? 45 ~ 90°電源規(guī)格??????????? AC1500VA（全自動型）尺寸??????????????? 1300(H)×900(D)×1750(W)mm?重量??????????????? 約350kg（全自動型）以上是橢圓偏光儀的詳細(xì)信息，如果您對橢圓偏光儀的價格、廠家、型號、圖片有什么疑問，請聯(lián)系我們獲取橢圓偏光儀的新信息。