保證分辨率 3.0nm（30kV） 放大倍數 5至300,000x 加速電壓 0.3kV至30kV 電子槍 工廠預對中燈絲 聚光鏡 變焦聚光鏡 物鏡 錐形物鏡 樣品臺 全對中樣品臺 X-Y 125mm-100mm Z 5mm至80mm 旋轉 360° 傾斜 －10°至＋90° 排氣系統 DPx1，RPx1 排氣系統 DPx1，RPx2
8.0nm（3kV）
15nm（1kV）
（高真空模式）
（低真空模式）
大樣品室和馬達驅動樣品臺
樣品室對應樣品的直徑可達到200mm,5軸馬達驅動確保了高效率的樣品移動和觀察。
操作窗口
直觀的操作界面的設計，簡明易懂便于迅速掌握操作。
支持多用戶
單個用戶可以根據常用功能設置相應的圖標，營造高效率的操作環境。用戶登錄時，即可加載已注冊過的設定。
同時顯示兩幅圖像
畫面上并列顯示二次電子成像和背散射電子成像這兩種實時圖像。可同時觀察樣品的形貌和組成分布。
微細結構測量
適合于多種測量功能。可在觀察圖像上直接進行測量。也可將測量結果貼至SEM圖像，保存在文件中。
標準的全對中樣品臺，能收錄三維照片
3D Sight（選配件），能夠進行平面測量和高度測量，實現立體俯視圖。
從圖像觀察到元素分析，配合連貫一條龍
分析型掃描電子顯微鏡配備兩臺監視器，一臺用于SEM圖像觀察和另一臺用于元素分析（EDS）。一只通用鼠標即可同時控制兩臺監視器。大尺寸畫面使操作更加簡便與舒適。
維護簡便
工廠預置中心燈絲，十分便于更換。因此，可長期保持穩定的高性能。此外，操作界面還能以映像形式顯示燈絲維護的步驟說明。
可信賴的真空系統
真空系統使用高性能的擴散泵保證了潔凈的高真空狀態。擴散泵內部無活動部件，體現了操作穩定，維護簡便的特色。
