技術參數：
●測定原理 X射線熒光分析法
●測定方法 能量色散型
●測定對象 固體、液體、粉體
●樣品形狀 150mm× 150mm× 40mmH
●X射線管 Rh靶
●檢測器 Si（Li）半導體檢測器（μEDX-1200/1300型）
Si漂移半導體檢測器（μEDX-1400型）
●測定范圍 13Al ~ 92U （μEDX-1200型）
11Na ~ 92U （μEDX-1300型）
13AL ~ 92U （μEDX-1400型）
主要特點：
μEDX系列X射線熒光光譜儀可以高靈敏度地分析很小的樣品。對于需要高分辨率同時高X射線強度才能進行測定的電子部件、電路板以及材料中的異物等微小局部的測定，本裝置可進行高靈敏度、高分辨率，分析直徑小至50μm的分析。
