概要
它是可以對用于半導體工藝的混合氣體 (N2、O2、He、Ar、H2、Air) 中的微量不純物進行超高靈敏度、高 (小檢測感度10ppb) 連續檢測的裝置。由于采用了交替流動調制方式，可以和零氣體不斷比較的同時進行檢測，所以沒有零點漂移，能夠獲得長期穩定的檢測值。由于它通過19英寸RACK方式進行了集中，所以系統升級也很容易。適于半導體氣體制造設備的質量管理 。
特征
1分析儀可以搭載CO/CO2/CH4中的2種成分，2種成分可同時以數字形式顯示濃度。
采用了交替流動調制方式，沒有零點漂移，可以獲得長期穩定的連續檢測值。
不需要進行光學調整，維護性得到了提高。
由于搭載有流量(壓力)異常、斷路器(電磁閥)、失火報警(GA-360E)、電源斷開的自我診斷功能，所以能夠迅速地在發生異常時采取措施。
規格
測量原理 | GA-360E:交替流動調制方式非分散紅外線分析法 |
|---|---|
GA-360E | 交替流動調制方式火焰電離檢驗方法 |
檢測對象氣體 | GA-360E:CO/CO2/CH4內選取2種成分 |
檢測量程 | GA-360E:0〜1/2/5/10ppm |
