產(chǎn)品介紹
株式會(huì)社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年創(chuàng)立的公司，也是日本家發(fā)表光學(xué)干杠桿表面粗糙度計(jì)，是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的廠商,主要有測(cè)定/自動(dòng)/流體三大部門。其中測(cè)定部門為具代表性單位且在日本精密測(cè)定業(yè)占有一席無法被取代的地位。
ET5000可以自動(dòng)高測(cè)量尺寸880mm×230mm的大型樣品。加載/卸載樣品平臺(tái)是可選的。其具有良好的穩(wěn)定性、高和強(qiáng)大的功能。在平板顯示器FPD，晶片，硬盤和其他納米尺度上的應(yīng)用廣泛。
主要特點(diǎn)：
（1）的臺(tái)階再現(xiàn)性與線性度。
（2）超高真直度，可確保量測(cè)圖形不受任何影響，并可在真直度的保證下進(jìn)行長(zhǎng)距離測(cè)量。
（3）采用超低噪音直動(dòng)式 LVDT，超低測(cè)定力的觸針可任意調(diào)節(jié)。
（4）配備高分辨率的 CCD 即時(shí)進(jìn)行高定位測(cè)量。
（5）可對(duì)應(yīng)各種國際規(guī)范，測(cè)定參數(shù)多達(dá) 60 多種。
（6）適用于各種與納米材料有關(guān)的MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等。
技術(shù)參數(shù)
樣品尺寸：880 × 680 mm
再現(xiàn)性：1 σ 1 nm
測(cè)量范圍：Z: 100 μm X: 100 mm
分辨率：Z: 0.1 nm X: 0.1 μm
測(cè)應(yīng)力：0.5 μN to 500 μN
