1、2、3 型
超高，適于用作精密檢測室的主檢測設備； 3個型號（1、2、3 型）各自有 5 級放大倍率，可滿足不同視場及倍率要求； 有多種多樣的照明方式可供選擇，以確保模具邊界準確探測的需求； 較長的工作距離（50毫米），可滿足測量對工件高度方向的空間需求； 高達15倍的變焦比，可以滿足低倍大視場觀察搜索和高倍精密測量兩方面的需求。與無級變焦機構相比，采用5段、定倍自動變焦機構可以使測量更加快速、準確。 應用領域：精密檢測室的主檢測設備，模具及精密機械零件測量。
精密掩模板
精密機械零件
模具
Z120X 型（帶高倍頭）
具有超高的載物臺，與高倍頭配合使用，能夠準確測量工件的細微部位（如精密掩膜及芯片凸點高度等關鍵尺寸）光學放大倍數(shù)可達120X，能夠測量微距線寬； 高速、高的載物臺有助于對較大的物體尺寸，進行快速、準確地測量； 可以分別測量刻線的上下寬度； 激光自動掃描功能，可以用來測量芯片上的微小凸點高度以及錫球截面形狀等； 可以對激光掃描所得的截面輪廓形狀進行評估。 應用領域：各種芯片級封裝、芯片上的凸點高度、各種精密掩膜板等。
精密掩模板
倒裝芯片上的凸點
芯片凸點形貌色標顯示
