靈敏度：CAMECA IMS 7f 工作是的有效離子產率(useful yields- secondary ion detected per atomsputtered)比四極桿分析器高達100倍。做通常的深度剖析或者成像分析，以獲得同樣靈敏度所用時間相比，是TOF類SIMS的千分之一。(或反過來說，同樣的分析時間，TOF SIMS的靈敏度要低達1000倍)。
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