測量范圍(XYZ):450 x 450 x 150 mm
測量系統(tǒng)的尺寸(長/寬/高)約:132 x 102 x 170 cm,1300 kg
XYZ軸光柵尺分辨率:0.5μm
馬達(dá)驅(qū)動:帶有操縱桿控制的DC伺服馬達(dá)(X,Y,Z,變焦)
工作臺:帶有夾具孔和可拆卸式平臺玻璃,其載重量為30kg。
變焦鏡:6.5:1,自動的
視頻系統(tǒng):1/2"高分辨率彩色CCD,768 x 494像素陣列。
照明:LED輪廓燈,同軸TTL表面燈,可編程的8區(qū)/6環(huán)的VectorLight™白色LED燈
影像處理:10:1次像素分辨率,256灰色級








