流量范圍 流量計
鋁 不銹鋼
0-10 SCCM GFM-1101 GFM-2101
0-20 SCCM GFM-1102 GFM-2102
0-50 SCCM GFM-1103 GFM-2103
0-100 SCCM GFM-1104 GFM-2104
0-200 SCCM GFM-1105 GFM-2105
0-500 SCCM GFM-1106 GFM-2106
0-1 L/min GFM-1107 GFM-2107
0-2 L/min GFM-1108 GFM-2108
0-5 L/min GFM-1109 GFM-2109
0-15 L/min GFM-1111 GFM-2111
0-30 L/min GFM-1131 GFM-2131
0-50 L/min GFM-1133 GFM-2133
0-100 L/min GFM-1142 GFM-2142
0-200 L/min GFM-1143 GFM-2143
0-500 L/min GFM-1144 GFM-2144
0-1000 L/min GFM-1145 GFM-2145
流量量程是相當于氮氣在70°F (21°C) @ 760 毫米汞柱的條件下標定的
鋁 不銹鋼
0-10 SCCM GFM-1101 GFM-2101
0-20 SCCM GFM-1102 GFM-2102
0-50 SCCM GFM-1103 GFM-2103
0-100 SCCM GFM-1104 GFM-2104
0-200 SCCM GFM-1105 GFM-2105
0-500 SCCM GFM-1106 GFM-2106
0-1 L/min GFM-1107 GFM-2107
0-2 L/min GFM-1108 GFM-2108
0-5 L/min GFM-1109 GFM-2109
0-15 L/min GFM-1111 GFM-2111
0-30 L/min GFM-1131 GFM-2131
0-50 L/min GFM-1133 GFM-2133
0-100 L/min GFM-1142 GFM-2142
0-200 L/min GFM-1143 GFM-2143
0-500 L/min GFM-1144 GFM-2144
0-1000 L/min GFM-1145 GFM-2145
流量量程是相當于氮氣在70°F (21°C) @ 760 毫米汞柱的條件下標定的
介質：與接液部件兼容的清潔氣體
接液材質： GFM-1XXX: 陽氧化鋁, 銅, 316不銹鋼 和Viton® O型密封圈;
GFM-2XXX: 316不銹鋼 和Viton® O型密封圈
： 滿量程時±1.5%包括線性以上59-77°F (5-25°C) 和5-60psia (0.35-4bar)
重復性： 滿量程的±0.5%
反應時間： 實際流量的±2%以內是2秒
輸出： 線性0-5VDC和4-20mA
微粒尺寸： 5微米
工作溫度： 32-122°F (0-50°C)
電源： ±12VDC
過程連接： 流速≤50L/m壓縮接頭是1/4 英寸；100和200L/m是3/8英寸；500L/m是1/2英寸；1000L/m是3/4英寸
壓力范圍： 500psig(34.5bar)
泄漏率： 氦氣的1 x 10-7 sccs
顯示器： 90°可傾斜，3-1/2數字
： CE
