產品簡介 HS-T50無接觸厚度TTV電阻率綜合測試系統是一款廣泛應用于太陽能電池片制造過程中對表面厚度TTV電阻率無損測量的儀器。該儀器適用于Si，GaAs，InP，Ge等幾乎所有的材料，所有的設計都符合ASTM(美國材料實驗協會)和Semi標準，確保與其他工藝儀器的兼容與統一。 產品特點 ■ 無接觸無損傷測量 ■ 適用的晶圓材料包括Si，GaAs，InP，Ge等幾乎所有的材料 ■ 抗干擾強，穩定性好 ■ 強大的工控機控制和大屏幕顯示 ■ 一體化設計操作更方便，系統穩定 ■ 為晶圓硅片關鍵生產工藝提供的無接觸測量 ■ 使用MTI Instruments獨有的推/拉技術 技術指標 ■ 測試尺寸：50mm- 300mm. ■ 厚度測試范圍：1000 um，可擴展到1700 um. ■ 測試：+/-0.25um ■ 電阻率測試范圍：0.1-50 ohm.cm ■ 測量：2% ■ 晶圓硅片類型：單晶或多晶硅
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