類型：

光學(xué)顯微鏡

CFI60無限遠光學(xué)系統(tǒng)是將尼康的CF(自動消色差)設(shè)計與無限遠光學(xué)系統(tǒng)結(jié)合在一起，使得物鏡不僅工作距離更長，而且數(shù)值孔徑更高；
符合SEMI S2-93A,S8-95設(shè)計； 
利用計算機輔助工程系統(tǒng)（CAE）對機身進行防震設(shè)計； 
具有全面的防污染措施。 
主要技術(shù)參數(shù)：
調(diào)焦機構(gòu)
行程：29mm，粗調(diào)：每轉(zhuǎn)12.7mm(扭矩可調(diào)，具有再聚焦制動裝置)，微調(diào)：每轉(zhuǎn)0.1mm，每格1µm。 
落射照明器 內(nèi)置12V100W鹵素燈，內(nèi)置式孔徑光闌（中心可調(diào)），固定型視場光闌（具有可調(diào)對準板），還可安裝選配的小孔光闌滑塊，可安裝的4個ø25mm的濾光片（NCB11,ND4，ND16），具有起偏器和檢偏器。 
透射照明器
（僅L200D） 內(nèi)置12V100W鹵素燈，內(nèi)置式孔徑光闌，內(nèi)置式LWD聚光器，可安裝的2個ø25mm的濾光片（NCB11,ND4）。 
物鏡轉(zhuǎn)換器 固定式六孔物鏡轉(zhuǎn)換器，具有DIC插槽 
目鏡筒 超寬視場可傾式三目鏡筒 
載物臺 8X8載物臺，行程：205X205mm （透射觀察時：105X105mm）粗微移動可以互換，X-Y方向微動手柄位置固定。 
目鏡 CFI目鏡系列 
物鏡 CFI LU/L 平場系列