TT-1  轉臺式等離子體刻蝕系統
工業用表面改性系統

TT-1是一款材料表面改性系統，具有一套旋轉式電極設計，專門用于引線鍵合行業設計。完全滿足均勻處理多個開槽式引線料盒的等離子表面改性需求。

工業用表面改性系統縱覽

TT-1  工業用表面改性系統基于P-1等離子表面活化處理系統建造，具有同樣的堅固和可靠特性，是一款創新的等離子蝕刻表面改性系統。 全鋁真空艙配備圓形、可旋轉表面改性工作區，可提供絕緣式等離子改性處理或直接接觸電極處理方式。

TT-1工業用表面改性系統設備用于有效處理多孔及非多孔料盒。載料接等離子改性處理快速高效，生產效率高，清洗滿足苛刻的等離子表面改性處理要求。真空艙內置兩套電極，電極直接高達61厘米。操作人員裝載料盒至于電極上，等離子表面活化處理過程中，轉臺以勻速旋轉，確保表面改性的均勻性。

TT-1  工業用表面改性系統特點

工業粉末涂層框架具有易于清潔設計，保護等離子處理環境免于污染；等離子表面改性處理引線框的關鍵是均勻性。而使用更少的勞動力和化學品費用減少，無需消除不受歡迎的化學廢物而花費昂貴的處理的清理

直觀且簡單易用的觸摸屏界面控制每一個等離子清洗過程的環節，從而確保可靠性和可重復性。

在接觸角測試實驗中，證明在多孔料盒處理中角度較高，而在非多孔聊盒處理中具有稍微減小的角度。 總體實驗結果被證明等離子表面改性處理優良且具有一致性。

TT-1  工業用表面改性系統規格

標準TT-1  工業用表面改性系統特點
電極設置：單套直徑43cm旋轉電極； 電極控制電子慢跑及旋轉速度控制；
射頻電源：600瓦@13.56MHz射頻電源;自動匹配器網絡 
工藝氣體控制：2通道500 SCCM質量流量控制器 （MFC）
真空監測系統：皮拉尼真空計0-1托
控制器系統：微處理器系統，配備觸摸屏界面；多序列存儲
真空泵浦系統：氧氣服務真空泵 ，配備增壓器鼓風機29/335； 3微米真空泵油過濾芯，2點自動氮氣N2吹掃； 真空泵排氣油霧凝聚式過濾器; 雙處理順序
3微米真空泵油過濾芯， 真空泵油霧分離器；

TT-1  工業用表面改性系統其它可選功能
1250瓦射頻電源；
真空泵自動N2吹掃；
多達4個通道低氣壓工藝氣體報警器；
計算機控制系統/觸摸屏、數據、事件查看、打印
信號燈塔
干式真空泵29/335CFM
真空節氣門控制器
多達4通道質量流量控制器
可控N2(氮氣)真空艙吹掃流量
石油除霧器
根據客戶定制真空艙及電極設置

業用表面改性系統外部尺寸：79cm X 76cm X 178cm
真空泵外部尺寸： 41cm X  76cm X43cm
系統重量（業用表面改性系統/真空泵）550/70公斤