- 產品品牌：
- microvu
- 產品型號：
- MVU251
基本參數：
| 型號 | Vertex251 | Vertex12x12 |
| XY | Uxy=2.0+L/250 | Uxy=2.6+L/175 |
| Z | Ux=2.5+L/150 | Ux=3.0+L/150 |
| XY 重現性 | 2.0μm | 2.5μm |
| Z 重現性 | 2.0μm | 2.0μm |
| XY 加速度 | 500mm/S2 | |
| Z 加速度 | 200mm/S2 | |
| XY 移動速度 | 250mm/s | |
| Z 移動速度 | 100mm/s | |
| 光學尺分辨率 | 1.0μm, 0.5μm, 0.1μm | |
| 量測行程 | 200x150x150mm | 300x300x150mm |
| 外形尺寸 | 760x635x965mm | 1090x865x990mm |
| 重量 | 60kg | 125kg |
| 承載重量 | 7.5kg | 12kg |
| 基座材質 | 鋁合金(花崗巖選購l) | |
| 傳動方式 | Unique Monorail X & Y Design, Monorail Linear Z | |
| 電控系統 | 伺服系統: CNC, 鼠標, 搖桿 | |
| 光學系統 &放大倍率 | 12:1 光學 Zoom, 17-410x 或 6.5:1光學 Zoom, 20-250x | |
| 影像 & 光源 | 紅光LED (黑白系統)或白光 LED(彩色系統) | |
| 軟件 | InSpec for Windows Metrology Software | |
| 工作環境 | 20℃±2°,30-80% 濕度 | |
