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2CH靜電電位監視裝置（KSD-0120）
能用1臺控制器連接2ch的幅度電位傳感器(KS-2100)、能廉價地制造靜電系統。
因為是小型傳感器部、能設置在各種制造裝置內比較窄的地方、連續可能。
因為有警報設定、如果在了設定的電位時、能與各種制造裝置傳動。
裝備檢出傳感器的故障表示LED、能輸出到外部。
KSD-0120的規格
用途
平面顯示器生產工序中的帶電量。
半導體硬芯片(wafer)的帶電量。
LSI 處理中及印刷電路板搬送中的帶電量。
構成
| KSD-0120 | |
| 本體に付屬 | |
| KS-2100 | オプション、2臺迄使用可能 |
| KSD-0120用ACアダプタ | オプション |
仕様
本體
| KSD-0120 |
| レンジ(1) &plun;1～&plun;1999V レンジ(2) &plun;0.01～&plun;19.99kV |
| 0～&plun;5V |
| 2チャンネル設定 |
| オープンコレクタ（制御設定出力及びセンサ故障出力） |
| DC12～24Vまたは 専用ACアダプタ（AC100V／オプション） |
| 500mA（DC12～24V） |
| 溫度0～40℃、濕度65％RH以下（結露なきこと） |
| 約580g（取付金具含む） |
専用ACアダプタ（オプション）
| KSD-0120用ACアダプタ |
| AC100V 50／60Hz |
| DC12V |
| 1580mm |
| 約385g |
センサ（オプション）
| KS-2100 |
| 振動型表面電位センサ |
| レンジ(1) &plun;1～&plun;2000V レンジ(2) &plun;0.01～&plun;20.00kV |
| 0～&plun;5V |
| &plun;10％以內 |
| レンジ(1) 10mm レンジ(2) 50mm |
| 検出センサ故障LED表示、外部出力 |
| KSD-0120より供給 |
| 溫度0～40℃、濕度65％RH以下（結露なきこと） |
| 約100g（ケーブル含まず） |
| 専用ケーブル5m（100m迄延長可能） |
寸法?各部の名稱 （寸法単位［mm］）
本體
センサ
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