SERI（小體積型）
概要
LF400系列采用溫度變化對應于質量流量的原理，可以對不同的氣體進行流量量測及控制。
可應用在5SCCM到30SLM的氣體流量范圍，并且不會受到溫度及壓力變化的影響。
產品系列完整，可選擇數字式，模擬式，普通，高，高壓力型，性能且價格具有競爭力，應用領域廣泛。
特點
模擬式熱質式流量計/氣體質量流量控制器：
低單價
環境溫度補正
可應用的流率范圍廣：
0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
0～1，2，3，5，10，15，20，30SLM
高
±1%（≤15SLM）
±1.5%（＞15SLM.）
可選用LF系列控制模塊，具有數位顯示、電源供應、流量設定等功能
國際兼容
應用
工業設施的氣體供應監測/控制。
氣體分析設備。
固定氣體流量控制。
氣體混合或分離設備
標準氣體質量流量用氮氣（N2）標定。
概要
LF400系列采用溫度變化對應于質量流量的原理，可以對不同的氣體進行流量量測及控制。
可應用在5SCCM到30SLM的氣體流量范圍，并且不會受到溫度及壓力變化的影響。
產品系列完整，可選擇數字式，模擬式，普通，高，高壓力型，性能且價格具有競爭力，應用領域廣泛。
特點
模擬式熱質式流量計/氣體質量流量控制器：
低單價
環境溫度補正
可應用的流率范圍廣：
0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
0～1，2，3，5，10，15，20，30SLM
高
±1%（≤15SLM）
±1.5%（＞15SLM.）
可選用LF系列控制模塊，具有數位顯示、電源供應、流量設定等功能
國際兼容
應用
工業設施的氣體供應監測/控制。
氣體分析設備。
固定氣體流量控制。
氣體混合或分離設備
標準氣體質量流量用氮氣（N2）標定。
