具采用的密封充氣紫外光學系統(tǒng)和OPI水平觀測等離子光學接口完成消除水平觀測時尾焰的影響、全譜CCD技術(shù)和多視角等離子體定位等新技術(shù)，有高靈敏度、高以及波長范圍寬（130nm-770nm）等特性，在ICP-O 領(lǐng)域開拓了的應(yīng)用，可分析包括ppm級鹵素在內(nèi)的73個金屬和非金屬元素。
　　
　　技術(shù)參數(shù)：
　　1.光譜范圍130－770nm
　　2.三光柵：3600線/mm（2個），1800線/mm（1個）
　　3.動態(tài)范圍大于等于8個數(shù)量級
　　4.可在30秒內(nèi)完成73個元素的全譜定量測試，分析速度：≥60個樣品/小時
　　5.短積分時間0.1ms，可與HPLC/GC聯(lián)機使用
　　
　　主要特點：
　　
　　▲一維色散＋32個CCD檢測器設(shè)計，檢測器無需溫冷卻，無需氬氣吹掃保護。
　　▲全波長覆蓋，為130－770nm的波長范圍，可以分析ppm級鹵素。
　　▲密閉充氬循環(huán)光路系統(tǒng)，檢測190nm以下譜線，無需氣體吹掃。
　　▲輕松檢測單晶/多晶硅及金屬硅生產(chǎn)企業(yè)中P（磷）B（硼）等元素。有低檢出限，可彌補ICP-MS不足之處。
　　▲3秒實現(xiàn)真正全譜數(shù)據(jù)采集，分析速度快。每小時可分析60個樣品。
　　▲氣體流量采用質(zhì)量流量計計算機控制，矩管位置3維步進馬達計算機控制自動化程度高。