光清洗技術是利用化合物的光敏氧化作用去除黏附在材料表面上的物質，經過光清洗后的材料表面可以“原子清潔度”。更詳盡的講：UV光源發射波長為185nm和254nm的光波，具有很高的能量，當這些光子作用到被清洗物體表面時，由于大多數碳氫化合物對185nm波長的紫外光具有較強的吸收能力，并在吸收185nm波長的紫外光的能量后分解成離子、游離態原子、受激分子和中子，這就是所謂光敏作用。空氣中的氧氣分子在吸收了185nm波長的紫外光后也會產生臭氧和原子氧。臭氧對254nm波長的紫外光同樣的吸收作用，臭氧又分解為原子氧和氧氣。其中原子氧是活潑的，在它作用下，物體表面上的碳和碳氫化合物的分解物可化合成可揮發的氣體：二氧化碳和水蒸氣等逸出表面，從而徹底清除了黏附在物體表面上的碳和污染物。清洗時，使基板治濕性向上。玻璃基板是以滾輪方式輸送，上方裝置低壓水銀燈產生紫外線照射。玻璃基板所累積紫外線能量愈多，其表面水接觸愈小，成反比關系。一般STN-LCD制作過程中，需求的玻璃基板累積紫外線能量為300nj/cm2（253.7nm）以上。而彩色STN-LCD及彩色濾光片制作過程中，要求的玻璃基板累積紫外線能量為600nj/cm2（253.7nm）。在TFT-LCD制作過程中，除了低壓水銀燈產生臭氧清洗玻璃外，目前制程的主流是，使用Excimer Lamp，其172nm波長紫外線的高反應性質對玻璃的清洗效率更好。
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