1、設備整體尺寸：2000mm*18000mm*1600mm（寬*深*高）
2、真空室尺寸：直徑700、900、1100mm
3、平行板電尺寸：直徑600、800、1000mm
4、電冷卻及調節：水冷，可調節
5、真空系統：粗抽泵＋分子泵機組
6、限真空度：1*10-6mabr.
7、濺射電源：AE 射頻直流電源3KW-5KW-10KW
8、工藝匹配：全自動匹配
9、氣體控制：MKS 質量流量控制器 4路
10、真空檢測：MKS 薄膜壓力規
11、加熱系統：石英管加熱或熱電阻加熱 5KW-8KW-12KW
12、控制方式：全自動控制系統。
2、真空室尺寸：直徑700、900、1100mm
3、平行板電尺寸：直徑600、800、1000mm
4、電冷卻及調節：水冷，可調節
5、真空系統：粗抽泵＋分子泵機組
6、限真空度：1*10-6mabr.
7、濺射電源：AE 射頻直流電源3KW-5KW-10KW
8、工藝匹配：全自動匹配
9、氣體控制：MKS 質量流量控制器 4路
10、真空檢測：MKS 薄膜壓力規
11、加熱系統：石英管加熱或熱電阻加熱 5KW-8KW-12KW
12、控制方式：全自動控制系統。
