2、真空室尺寸:直徑700、900、1100mm
3、平行板電尺寸:直徑600、800、1000mm
4、電冷卻及調節:水冷,可調節
5、真空系統:粗抽泵+分子泵機組
6、限真空度:1*10-6mabr.
7、濺射電源:AE 射頻直流電源3KW-5KW-10KW
8、工藝匹配:全自動匹配
9、氣體控制:MKS 質量流量控制器 4路
10、真空檢測:MKS 薄膜壓力規
11、加熱系統:石英管加熱或熱電阻加熱 5KW-8KW-12KW
12、控制方式:全自動控制系統。
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