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殘余氣體分析儀（四質譜儀）
ToolCheck在真空診斷中是的概念，它橋接了真空計與RGAs之間的空隙。這臺簡易的高功能儀器用于監測真空系統，地辨別常規的殘余氣體，便于及時檢測真空問題與快速消除故障。這臺全內置的儀器可容易地連接任何真空室，內置程序和TCP/IP接口，用于控制ToolCheck和運行于系統控制器的標準網頁瀏覽器查閱結果，無需外接計算機。簡單的指令組易于寫入用戶特定的碼，將ToolCheck集成于您的系統控制器。
Transpeor 2的特點
·I100－，200－，和300－amu系統帶法拉第杯或電子器/法拉第杯的組合。
·改進的氫檢測。
·與原始的Transpeor相比訊噪比10倍
·快速掃描低值訊號
·個量級的電子學動態量程
·用于單傳感器和多傳感器系統的軟件選件
·分壓測量從1×10-4乇至2×10-14乇
Transpeor 2是基于四場的智能傳感器，傳感器電子驅動加上微處理器安裝在一個附在傳感器上的小型、輕便的密閉匣內。由于它是智能的傳感器，具有相當的靈，您可以使用當前的計算機或從INFICON選購PC和軟件包。兩種通訊鏈接，RS232用于單傳感器，RS485用于多傳感器配置，將Transpeor2連接控制計算機。簡單的指令協議支配Transpeor功能。
Transpwor XPR3氣體分析系統 |
用Transpwor XPR3進行工藝監測可為您提供有關污染程度、出氣量值、氣體純度和設備運行的實時數據。 |
這個信息有助于產量與產額的化，由于問題的及時監測與診斷而降低損耗，由于更地采取性維護程序，可設備的運行時間。 |
TRANSPEOR XPR3的特點 |
·新設計的離子源使污染的產生小化，從而延長使用壽命 和提供更清楚的訊號。 |
·新型EM在PVD工藝壓強下工作，提供更快速、清晰的數據收集和免除FC至EM的轉換，簡化數據的解譯過程。 |
·新型加長的四桿場可低質量范圍的過濾能力，質譜儀分辨同位素的靈敏度，從而氫的監測靈敏度。 |
Transpwor XPR3是新一代的高壓強四場工藝氣體分析儀。它研發于先前INFICON系統成功的基礎上，在物理相汽沉積（PVD）檢測中具有高的靈敏度、度和靈。一系列技術上的使輕便型Transpwor XPR3的工作范圍從20耗乇至真空，無需大型負責的壓強轉換設備。 |
TRANSPEOR XPR3的應用 |
·PVD工藝模塊 |
·預清洗模塊 |
·Non-cluter PVD設備 |
·Clamped的除氣模塊 |
