可加工尺寸 5英寸
基片臺冷卻水冷＋氦氣背冷
可刻蝕材料硅基材料及金屬
腔室尺寸 225mm譎350mm
真空系統 620L/S分子泵＋8L/S干泵
限真空 5.0×10-4Pa
電源系統 13.56MHz、1000W射頻電源，自動匹配、自動控制；13.56MHz、500W射頻電源，自動匹配。 壓力控制 MKS壓力控制系統、下游流量控制
氣路 6路流量控制器，全自動控制、全自動現實并記錄流量參數
控制系統一體化工業控制器
系統軟件 ICP定制控制軟件
報警及保護對電缺水、過流過壓、斷路等異常情況進行報警并保護
我公司抄板實力雄厚，如有需要請致電我公司商務中心洽談業務。
基片臺冷卻水冷＋氦氣背冷
可刻蝕材料硅基材料及金屬
腔室尺寸 225mm譎350mm
真空系統 620L/S分子泵＋8L/S干泵
限真空 5.0×10-4Pa
電源系統 13.56MHz、1000W射頻電源，自動匹配、自動控制；13.56MHz、500W射頻電源，自動匹配。 壓力控制 MKS壓力控制系統、下游流量控制
氣路 6路流量控制器，全自動控制、全自動現實并記錄流量參數
控制系統一體化工業控制器
系統軟件 ICP定制控制軟件
報警及保護對電缺水、過流過壓、斷路等異常情況進行報警并保護
我公司抄板實力雄厚，如有需要請致電我公司商務中心洽談業務。
