PEG100潘寧規技術優點:
測量范圍廣:5 X 10-7~1 Pa
全金屬冷陰陶瓷傳感器
新型幾何電提供了好的點火性能
降低等離子點火高電壓和鈦陰板污染的危險,即使在氬濺射過程中也一樣
陽環和鈦陰可清洗,更換容易
小磁場強度測量
LED指示燈電源和等離子點火
對數模擬輸出信號
Fieldbus總線接口(Profibus DB,DeviceNet),集成到真空系統的網絡通信
PEG100潘寧規技術參數:
測量范圍 1·10-9至1·10-2毫巴/乇
在范圍從1·10-8至1·10-4毫巴
的測量不定性:
偏離特性±30%顯示值
輸出跨度的平均溫度系數<0.5%/K 顯示值
再現性<4%顯示值
測量原理冷陰潘寧電離
電源電壓 14.5至36 V DC,典型24 V DC 紋波≤2 Vpp
功耗<2瓦保護 IP 40
電磁兼容性(EMI)CE 標志干擾合EN 50082-2,表1,2,3
干擾合EN 50081-1和FCC規程5部分,B級
易燃性 UL 94-V2
狀態顯示
運行(POWER)桔色LED 準備測量(點燃)READY 綠色LED
測量訊號 0.66 V至10 V;
對數,1.333 V每量級
狀態訊號(未點燃)0.4 V








