用于光化學(xué)清洗,,產(chǎn)生臭氧、降解物、碳去除(TOC)、制造純水等。有185nm和254nm兩個(gè)主要波段.主要有日本的ORC、SEN、EYE 德國(guó)Heraeus 美國(guó)Aquafine Trojan 荷蘭 等品牌.常用如SUV90-43、SUV90-59可用于涂料的硬化、Hard coat(硬化膜)樹脂的硬化、SiO2燒成前的改質(zhì)。
低壓水銀燈管:長(zhǎng)達(dá)6000小時(shí)壽命的低壓燈管可穩(wěn)定放出波長(zhǎng)為254nm與185nm的紫外線。以波果所產(chǎn)生的氧與波長(zhǎng)能量來進(jìn)行物的除去及改質(zhì)等UV洗凈作業(yè)。可用于洗凈液晶玻璃基板的物(親濕性),或是用來進(jìn)行film等的改質(zhì)。
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