VMZ-R4540 CNC影像測儀
載物臺行程:450mm(X)x400mm(Y)x200mm(Z)
應用領域：
適用于中等尺寸部件和對載物臺上的多個工件執行序列測量
Te1~3 ： 中型尺寸PCB、沖壓鈑金件等
Te4/TZ ： 300mm晶圓、300mm探針卡等
TeA ： 中型尺寸機械件、塑料模制件等
類型1、2和3-標準倍率變焦頭
Te10.5X~7.5X Te21X~15X Te32X~30X
類型1、2和3使用尼康15X變焦光學系統，具有長工作距離，寬視場（FOV）以及主達0.35的數值孔徑。標準變焦頭都配備LED落射、和內部/外部環形照明器，提供頂部照明光、底部照明光以及具有三種不同斜角照明光，清晰呈現模糊的邊緣。
類型4和TZ-率變焦頭
Te4 4X~60X TeTZ1X~X7.5/16X~120X
類型4和TZ使用尼康15X和120X變焦光學系統，具有更高的倍率和更高的數值孔么（0.46)。類型4配有LED落射、和環形照明器，提供頂部照明光、底部照明光和50度斜角照明光。TZ配有適用于主物鏡鏡頭（16~120x)的落射、和暗場照明器，以及適用于輔助物鏡鏡頭（1~7.5X）的LED落射和暗場照明器。
類型A-寬視場變焦頭
TeA0.35X~3.5X
類型使用尼康10X變焦光學系統，具有低部率范圍內寬的視場，長的工作距離和的數值孔么（0.11），而且它配備了LED落射、和環形照明器，提供頂部和斜角照明光。
8段LED內外環形照明器
Te1~3
類型1、2和3配有8段LED內外環形照明器，能夠提供照明條件，清晰呈現模糊的邊緣。您可以從8個照明器段的任意方向選反37度、55度、和75度這三個斜角之一，還可以組合使用任意照明器段以及使用任意光強度。
不確定度
尼康線性編碼器ModuRay配有非接觸式讀取頭，有助于確定度。
規格
型號 | VMZ-R4540 |
XYZ行程 | 450X400X200 |
小讀取單位 | 0.1微米 |
被測物重量 | 40kg |
測量 EUX、MPE EUY、MPE | 1.2+4L/1000um |
EUXY、MPE | 2+4L/1000um |
Z軸測量（激光自動對焦） | 1.2+5L/1000um |
攝像頭 | 黑白1/3英寸CCD、彩色1/3英寸CCD（選購件）※ |
物鏡鏡頭的工作距離 |
|
類型1、2和3 | 37度斜角時為50mm、55度斜角時為36mm、78度斜角時為10mm |
類型4 | 30mm |
類型TZ | 使用主物鏡鏡頭時為11mm，使用左側物鏡鏡頭時為32mm |
類型A | 未使用激光AF時為73.5mm，使用激光AF時為63mm |
倍率和視場 |
|
類型1 | 0.5~7.5X /9.33X7~0.622X0.467mm |
類型2 | 1~15X /4.67X3.5~0.311X0.233mm |
類型3 | 2~30X /2.33X1.75~0.155X0.117mm |
類型4 | 4~60X /1.165X0.875~0.07~0.068 |
類型TZ | 1~120X /4.67X3.5~0.039X0.029mm |
類型A | 0.35~3.5X /13.3X10~1.33X1mm |
自動對焦 | 類型1、2、3、4和TZ配備TTL激光AF和圖像AF |
照明器 |
|
類型1、2和3 | LED落射和照明器，8段LED內外環型照明器（內部環形照明器呈37度斜角，外部環形照明器呈55度和78度斜角） |
類型A | LED落射和照明器，呈18度斜角的8段LED環形照明器 |
電源 | AC 100-240V±10% 50或60HZ |
使用電流 | 5A-2.5A |
主機尺寸和工作臺 | 1000X1340X1820mm/約500kg |
控制器尺寸 | 190X450X440mm /約15KG |
占地(含工作臺上的PC) | 2300X1700mm |
