隔振臺是一個隔振的工作面,通過的薄膜空氣彈簧對周圍的環(huán)境的振動進(jìn)行隔離。水平控制器(機(jī)械氣動閥)可以將水平保持在正/-1/100MM。
即使承載的載荷的變化的,也可以將水平自動保持在+/-1/10MM.空氣調(diào)節(jié)裝置還包括了聚水器和空氣濾清器。
客戶定制:
根據(jù)客戶要求,可以提供尺寸,以及低固有頻率(垂直方向1.5HZ.0.8HZ)
系統(tǒng)特性:
- 垂直固有頻率:大約2.5HZ.1.5HZ
- 水平固有頻率:大約2.5HZ.2.5HZ
- 可調(diào)解,可滾動
- 剛性,焊接鋼框假,帶集成在臺腳中的BIAIR氣動彈簧
- 機(jī)械氣動控制器(水平+/-1/10MM和氣動裝置)
- 表面板:花崗巖
應(yīng)用范圍:
光學(xué)和光電工作站以及小型和高臺面頂部測量儀器,例如:圓形測量儀,齒輪測量裝備,表面測量機(jī)等。
主動隔振系統(tǒng)AIS應(yīng)用領(lǐng)域:
隔振性能,用于存在高動態(tài)力,進(jìn)行靈敏度測量和檢驗的設(shè)備,如平版印刷設(shè)備,激光設(shè)備,高分辨率電子顯微鏡,以及半導(dǎo)體設(shè)備。
AIS具有兩個主要優(yōu)勢:
一個優(yōu)勢是保護(hù)精密設(shè)備免受地面振動的影響;另一個優(yōu)勢是通過降低設(shè)備內(nèi)部運動部件加速和減速時產(chǎn)生的高動態(tài)力造成的結(jié)構(gòu)性振動現(xiàn)象來設(shè)備的使用。并且,通過降低沉降時間,從而減少設(shè)備在可以進(jìn)行敏感運行前的,工作效率。









