| 類型 | 質量流量計 | 測量范圍 | 10 sccm – 50 slm。（m3/h） |
| 等級 | 1％ |
ALTA®系列金屬密封數字質量流量控制器
- ALTA® 1480A/180A數字質量流量控制器/質量流量器，滿量程范圍從10 sccm– 30 slm。
- ALTA® MC20A數字質量流量控制器，滿量程范圍從20 – 300 slm。
- MASS-FLO®系列金屬密封質量流量控制器
- 1479A/179A質量流量控制器/質量流量器，其滿量程范圍從10 sccm – 20 slm，各種模擬和數字通訊口可選。
- M330B低壓質量流量控制器，其滿量程范圍從5–100 sccm
- M330H高溫型(150℃）質量流量控制器，其滿量程范圍從10sccm – 40 slm
MASS-FLO®系列橡膠密封質量流量控制器
- 1179A/2179A質量流量控制器/帶截至閥質量流量控制器，其滿量程范圍從10 sccm – 20 slm，模擬和數字通訊口可選。
- M100B/M10質量流量控制器/質量流量器，其滿量程范圍從10 sccm–50 slm
- 1559A/558A大流量質量流量控制器/質量流量器，其滿量程范圍從20– 200 slm
- 1579A/579A大流量質量流量控制器/質量流量器，其滿量程范圍從50 – 300 slm
代理美國美國MKS的系列產品:
等離子體電源及反應氣體發生器Power & Reactive Gas
真空技術Vacuum Technology
流量測量及控制Flow Measurement & Control
壓力測量及控制Pressure Measurement & Control
氣體分析Gas Analysis
控制信息與技術Control Information & Technology
小型檢漏儀Leak Detector
校準系統Calibration
電離化與工業靜電控制Ionization & Industrial Static Control
集成子系統Integrated Subsystems
電子系統Medical Electronics
生物醫藥應用Biopharmaceutical
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