主要特性與技術指標
概述
- 平臺和尺寸:PC-PCI,98 x 312 mm
- 每個板的軸線數:3個
- 擴展的分辨率:x1024
- 外部樣本和數據保持輸入:4 + 4
通過平面鏡光學儀器進行操作
- 分辨率:0.15 nm
- 速度(同樣受激光頭限制):2800 mm/sec
定時
- 位置數據更新速率:20 MHz
- 外部異步樣本不確定性:&plun; 4 ns
- 異步數據保持不確定性:&plun; 25 ns
- 同步數據保持不確定性:&plun; 1 ns
特性
- 簡單編程的API(Windows NT4/2000/XP)
- 靈活的硬件接口
- 板上可編程的樣本/保持時鐘








