| 型號 | Excel1601UM/UC | Excel1602UM/UC | Excel1604UM/UC |
| 量測行程 | 1050x1650x160mm | 1050x1650x250mm | 1050x1650x400mm |
| 外形尺寸 | 1720x2600x1650mm | 1720x2600x1850mm | 1720x2600x2000mm |
| 重量 | 3450kg | 3500kg | 3600kg |
| 光學尺分辨率 | 0.1μm | ||
| XY,E2 | 3.3+L/300 | 3.6+L/300 | 4.3+L/200 |
| Z,E1 | 2.8+L/100 | 3.3+L/100 | 3.8+L/100 |
| 鏡頭倍率(光學,數字) | 36x(12x,3x) | ||
| 表面光,輪廓光, 同軸光光源 | 紅光LED(黑白系統)白光LED(彩色系統) | ||
| 放大倍率 | 15x-540xto30x-1080x | ||
| 電源系統 | 93-264VAC,47-63Hz | ||
| 工作溫度 | 20℃±2° | ||
| 存放溫度 | -25℃~60℃ | ||
| 工作濕度 | 30%-80% | ||
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