主要特性與技術(shù)指標(biāo)
一般特性
- 使用平面反射鏡光學(xué)器件可實(shí)現(xiàn) 0.15 nm 的位置分辨率
- 使用 15 MHz 分裂式激光頭，平面反射鏡級(jí)速度 &plun; 2.29 m/s。
- 接收機(jī)靈敏度：0.065 µW
- 循環(huán)誤差補(bǔ)償選件現(xiàn)已發(fā)布
與平面反射鏡光學(xué)器件一起使用
- 分辨率： 0.15 nm
- 使用 15 MHz 分裂式激光頭時(shí)的速度： &plun; 2.29 m/s；使用 7.5 MHz 分裂式激光頭時(shí)的速度： &plun; 1.1 m/s
計(jì)時(shí)
- 定位更新速率： 10 MHz
具體特性
- 每個(gè)系統(tǒng)配備多達(dá) 8 個(gè)電路板，用于 31 個(gè)軸的同時(shí)測量
- 10/100 Base T LAN 連接；支持 DHCP；使用 Web 瀏覽器設(shè)置多種觸發(fā)選項(xiàng)來進(jìn)行定時(shí)數(shù)據(jù)捕獲
- 以 10 MHz（10 個(gè)位/軸）的頻率同時(shí)輸出 4 軸位置
- 以 10 MHz/(軸數(shù))的頻率提供 36 位雙路補(bǔ)償硬件位置輸出
