一、STACIS 2100用戶及應用領域
l 微電子、半導體
-晶片檢測
-顯微光刻技術
-掩膜校準
l 科學研究、納米技術
-SEM, TEM
-STEM, SPM
l 激光臺
-生命科學、研發
l 工業應用
-精密加工
二、為什么要選擇主動系統？
l 從<1Hz開始強烈消除地面震動，氣動平臺在這一低頻處無法起到的隔振
l 吞吐量、質量、生產量
l 更加細小特色的成像能力
l 研究前沿
l 比氣動平臺更穩定
l 滿足SEM標準地點安裝參數的解決方案
l 使得新實驗室及研究設備的工程造價更低
三、為何選擇主動系統, 為何選擇STACIS?
l 正中研究者、科學家、設計者、的心聲棗?#25105;需要盡可能的無震環境！?/SPAN>
l 市場上強勁的低頻隔振系統。
l 目前，的SEM廠商都公布了安裝參數要求，其需要的震動參數需要主動隔振系統
l STACIS次發明于 mid 1990s, 經TMC進一步發展，開發了數以千計的安裝系統，這是隔振控制領域的提供的技術.
四、STACIS特色與優勢
l 寬的主動隔振帶寬，的低頻隔振效果
l 亞赫茲的主動震動消除，主要在0.6-6Hz頻段內的隔振
l 的可堆疊式設計
l 主動硬式安裝結構，而非軟式懸浮，無低頻漂移：主動元件與剛性彈簧相連
l 被動彈簧濾除了來自Stacis傳感器的負載諧振，需要的調諧少，甚至無需調諧
l 由于阻不匹配，可兼容儀器內部隔離器
l 大負載，可達 2000kg
l 市場是的隔振系統
五、STACIS相比氣動隔離器剛性大400倍 ?/FONT>
穩定時間作為對擾動的響應，由于的串聯式設計，而大大縮短，理想應用于機械制造、動態負載、激光或者光源需要安裝的剛性臺面的情況下。
六、如下優勢在業內都是的
l STACIS的主動隔振帶寬為 0.6Hz - 150Hz
l 6個自由度的主動震動消除，在1Hz時隔振8-10dB
l 從2-3Hz時，隔振可達90% (20dB)
七、的環境調查
安裝前后的環境調查，包括震動、磁場、聲波
安裝后可提供環境系統體系
l 完善的環境調查服務
l 開具環境
l 提供震動、磁場、聲波檢測及解決方案
l 性覆蓋。有求應，博學多才
l TMC基于其廣泛經驗向用戶推薦實用性方案
l 40多年的行業經驗，業內的
