產(chǎn)品信息
Phasics橫向剪切波前分析儀
所屬類別: ? 光學(xué)/激光測(cè)量設(shè)備 ? 波前分析儀
所屬品牌:法國(guó)Phasics公司
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
基于四波橫向剪切干涉技術(shù)的波前傳感器,具有高分辨率、消色差、高靈敏度、高動(dòng)態(tài)范圍、操作簡(jiǎn)便等特點(diǎn)。
關(guān)鍵詞:波前探測(cè)器,波前分析儀,波前傳感器,wave front sensor,波前測(cè)試,激光光束分析,鏡片面型分析,Phasics,法國(guó)Phasics公司,Shack-Hartmann,沙克哈特曼分析儀,哈特曼分析儀
Phasics波前分析儀
法 國(guó)Phasics公司自主研發(fā)的波前傳感器是基于四波橫向剪切干涉技術(shù)(4- Wave Lateral Shearing Interferometry) ,較傳統(tǒng)的Shack-Hartmann技術(shù)具有的優(yōu)勢(shì),具有高分辨 率、消色差、高靈敏度、高動(dòng)態(tài)范圍、操作簡(jiǎn)便等特點(diǎn),為波前測(cè)量與光束分析提供了的解決方案!其配套軟件界面友好,可輸出高分辨率相位圖與光束強(qiáng)度分 布圖 。
Phasics雄厚的技術(shù)實(shí)力,能為客戶提供各種自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)OASys(adaptive optics loops)的解決方案。根據(jù)客戶需求,推薦使用合適的SID4波前傳感器、可變形鏡或液晶相位調(diào)制器、自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)軟件等。
Phasics 公司的產(chǎn)品都是建立于其波前測(cè)量技術(shù),即四波橫向剪切干涉技術(shù)(4- Wave Lateral Shearing Interferometry)。在改進(jìn)型哈特曼掩模的基礎(chǔ),這種技術(shù)將分辨率和動(dòng)態(tài)范圍 結(jié)合在了一起。任何應(yīng)用下,其實(shí)現(xiàn)、簡(jiǎn)便、快速的測(cè)量。
型號(hào) | SID4 | SID4-HR | SID4 UV-HR | SID4 NIR | SID4 DWIR | SID4-SWIR |
孔徑 | 3.6 x4.8mm2 | 8.9 x11.8mm2 | 8.0 x8.0mm2 | 3.6x4.8mm2 | 13.44x10.08mm2 | 9.6x7.68mm2 |
空間分辨率 | 29.6μm | 29.6μm | 32μm | 29.6μm | 140μm | 120μm |
測(cè)量點(diǎn)數(shù) | 160x120 | 300x400 | 250x250 | 160x120 | 96x72 | 80X64 |
波長(zhǎng)范圍 | 350-1100nm | 350-1100nm | 190-400nm | 1.5-1.6μm | 3-5μm和8-14μm | 0.9- 1.7μm |
準(zhǔn)確度 | 10nm RMS | 10nm RMS | 10nm RMS | >15nm RMS | 75nm RMS | 10nm RMS |
動(dòng)態(tài)范圍 | >100μm | >500μm | >200um | >100μm | / | ~100μm |
采集速度 | 60 fps | 10 fps | 30 fps | 60 fps | 50 fps | 25/30/50/60fps |
處理速度 | >10fps | >3 fps | 1fps | <10fps | 20 Hz | >10Hz |
SID4: 一款緊湊型的波前傳感器
SID4波前傳感器體積小巧,結(jié)合了傳統(tǒng)的剪切干涉的優(yōu)勢(shì),安裝使用簡(jiǎn)單。我們的優(yōu)勢(shì)在于四波橫向剪切干涉技術(shù)(基于后的哈特曼衍射遮擋板)。SID4是測(cè)量光束特性的要工具,在光學(xué)測(cè)量方面有著許多應(yīng)用。
波長(zhǎng)范圍:350-1100nm
分辨率高(160x120)
消色差
測(cè)量穩(wěn)定性高
對(duì)震動(dòng)不敏感
操作簡(jiǎn)單,Firewire IEEE 1394
結(jié)構(gòu)緊湊,體積小
可用筆記本電腦控制
SID4 HR:高分辨率波前傳感器
SID4-高分辨率波前傳感器可應(yīng)用于光學(xué)測(cè)量領(lǐng)域。其可實(shí)現(xiàn)300x400個(gè)測(cè)量點(diǎn)的相位圖,了高測(cè)量,可用于對(duì)各種光學(xué)器件的測(cè)量,如透鏡,物鏡,球面鏡,微透鏡特征測(cè)量等。
波長(zhǎng)范圍:350-1100nm
的相機(jī),信噪比高
實(shí)時(shí)測(cè)量,立即給出整個(gè)物體表面的信息(120000個(gè)測(cè)量點(diǎn))
曝光時(shí)間短,動(dòng)態(tài)物體測(cè)量
操作簡(jiǎn)單
SID4 UV-HR: 高分辨紫外波前傳感器
PHASICS公司將 SID4的波前測(cè)量波長(zhǎng)范圍擴(kuò)展到190nm-400nm。SID4 UV-HR是一款適用于紫外波段的高分辨率波前傳感器,適用于光學(xué)元件測(cè)量(例如印刷、半導(dǎo)體等等)和表面檢測(cè)(半導(dǎo)體晶片檢測(cè)…)。
高分辨率(250x250)
通光孔徑大(8.0mmx8.0mm)
覆蓋紫外光譜
靈敏度高(0.5um)
優(yōu)化信噪比
SID4 NIR: 高分辨率紅外波前傳感器
SID4 NIR是一款覆蓋近紅外范圍(1.5μm-1.6μm)的高分辨率波前傳感器。
可用于光學(xué)測(cè)量,SID4 NIR是測(cè)量紅外物體和紅外透鏡像差、PSF、MTF和焦距及表面質(zhì)量的理想工具。
高分辨率(160x120)
測(cè)量
快速測(cè)量
對(duì)振動(dòng)不敏感
SID4 DWIR: 高分辨、雙波段紅外波前傳感器
PHASICS推出了業(yè)界款高分辨率雙波段紅外波前傳感器(from 3 μm to 5 μm and from 8 μm to 14 μm)SID4 DWIR
光學(xué)測(cè)量:SID4 DWIR是測(cè)量紅外物體特性(熱成像和視覺)或紅外透鏡(CO2激光器)的理想工具,輸出結(jié)果包括MTF,PSF,像差,表面質(zhì)量和透鏡焦距。
光束測(cè)量:(CO2激光器,紅外OPO激光光源等等)SID4 DWIR提供詳盡的光束特性參數(shù):像差,M2,光強(qiáng)分布,光束特性等
高分辨率(96x72)
可實(shí)現(xiàn)測(cè)量
可覆蓋中紅外和遠(yuǎn)紅外波段
大數(shù)值孔徑測(cè)量,無(wú)需額外中轉(zhuǎn)透鏡
快速測(cè)量
對(duì)振動(dòng)不敏感
可實(shí)現(xiàn)離軸測(cè)量
SID4軟件介紹
與SID4 波前傳感器配套提供的是一款完整的分析軟件,其集成了高分辨率的相位圖與強(qiáng)度分布圖,測(cè)量光強(qiáng)分布和波前信息。借助Labview和C++ 可編程模塊數(shù)據(jù)庫(kù)(軟件二次開發(fā)工具包),客戶能夠根據(jù)自身的需要編寫各種相位測(cè)量與編譯模塊。
adaptive optics loops 將SID4 wavefront sensor結(jié)合您的應(yīng)用,選配合適的可變形鏡或相位調(diào)制器,提供整套的自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)。減小任何一個(gè)光學(xué)系統(tǒng)的相差從 來(lái)是簡(jiǎn)單的,我們的產(chǎn)品能為激光光束和成像系統(tǒng)帶來(lái)更,高的解決方案。
傳統(tǒng)的測(cè)量結(jié)果與Phasics的測(cè)量結(jié)果對(duì)比:
光學(xué)測(cè)量軟件Kaleo
Phasics基于剪切干涉的波前傳感器與專門設(shè)計(jì)的光學(xué)測(cè)量軟件Kaleo結(jié)合,可以測(cè)量球面鏡和非球面鏡的像差及MTF等信息。要幾秒鐘,我們的儀器為您呈現(xiàn)大部分的光學(xué)參數(shù),如焦距,光腰,MTF,像差,Zernike系數(shù),曲率半徑,PSF等。
夏克-哈特曼探測(cè)器和PHASICS探測(cè)器比較
PHASICS | Shack-Hartmann | 區(qū)別 | |
技術(shù) | 四波橫向剪切干涉 | 夏克-哈特曼 | 是對(duì)夏克-哈特曼技術(shù)的改進(jìn),投放市場(chǎng)時(shí),已經(jīng)申請(qǐng)技術(shù)。 |
重建方式 | 傅里葉變換 | 分區(qū)方法(直接數(shù)值積分)或模式法(多項(xiàng)式擬合) | SH:夏克-哈特曼波前探測(cè)器,局域?qū)?shù)以微透鏡單元區(qū)域的平均值來(lái)近似。對(duì)于大孔徑的透鏡單元,可能會(huì)增加信號(hào)誤差,并且,在某些情況下,產(chǎn)生嚴(yán)重影響。 在分區(qū)方法中,邊界條件很重要。 |
強(qiáng)度 | 由于采用傅里葉變換方法,測(cè)量對(duì)強(qiáng)度變化不敏感 | 由于需要測(cè)量焦點(diǎn)位置,測(cè)量對(duì)強(qiáng)度變化靈敏 | Phasics:測(cè)量,波前測(cè)量不依賴于強(qiáng)度水平 |
使用、對(duì)準(zhǔn)方便 | 界面直觀,利用針孔進(jìn)行對(duì)準(zhǔn) | 安裝困難,需要精密的調(diào)節(jié)臺(tái) | Phasics: 產(chǎn)品使用方便 |
取樣(測(cè)量點(diǎn)) | SID4-HR達(dá)300X400測(cè)量點(diǎn) | 128X128測(cè)量點(diǎn)(多個(gè)微透鏡) | Phasics:具有很高的分辨率,這使得測(cè)量更,也更穩(wěn)定 |
數(shù)值孔徑 | SID4 HR NA:0.5 | NA:0.1 | Phasics:動(dòng)態(tài)范圍更高 |
空間分辨率 | 29.6μm | 115μm | Phasics:具有更好的空間分辨率 |
重復(fù)性(rms) | 2nm RMS | λ/200( 5nm @1053 nm) | Phasics:更好的重復(fù)率,更穩(wěn)定 |
獲取頻率 | 10fps | 7.5fps | Phasics:分析速度快 |
處理頻率 | >3Hz(全分辨率) | 5Hz | |
照度 | phasics的技術(shù)可以消色差。系統(tǒng)對(duì)不同波長(zhǎng)和帶寬響應(yīng)一致。無(wú)需對(duì)每個(gè)波長(zhǎng)進(jìn)行校準(zhǔn)。 | 夏克-哈特曼技術(shù)基于微透鏡,其特性依賴于波長(zhǎng)(由于玻璃色散)。儀器需要在每個(gè)波長(zhǎng)處校正。 | PHASICS更靈活:可以測(cè)試寬波段,而不需要校準(zhǔn)。 |
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