度、高，混合光學外觀檢查裝置YSi-12
特點 |
具備XY可達 10μm、Z可達 5 μm的高分辨率 ～可避免判定的模糊性，實現與計測器同等的高檢測～ |
檢查速度L330×W250mm的基板平均每張可達15秒(在3層照明的條件下) |
可選擇5種不同的方法實現檢查 |
上中下層3色，外加IR的10種圖像識別 |
配備500萬像素的檢查相機 |
基本規格 | |
型號 | YSi-12(型號:KKH-000) |
對象基板 | L600 x W460mm～L50 x W50mm※可通過選配對應 L780×W460mm～L50×W50mm |
可視光線 | 可視光: ;19μm (出廠前可選擇19μm/10μm/5μm) |
高分辨率 | 激光: 5μm |
檢查對象 | 印刷后的錫膏檢查 貼裝后的元件檢查 爐后的元件及錫膏檢查 |
電源規格 | 単相AC 200/208/220/230 V ±10% 50/60 Hz |
供給氣源 | 0.4MPa以上、清潔干燥狀態 |
外形尺寸 (突起部分除外) | L1,254×W1,510×H1,445mm |
主體重量 | 約1,200kg |