Film sense薄膜厚度橢偏儀

Film sense薄膜厚度橢偏儀

Film Sense 多波長橢偏儀通過簡單的 1 秒測量，可以以極高的精度和精度測定大多數透明薄膜的薄膜和折射率并對許多樣品進行光學常數 n&k 等薄膜性質的測量。多波長橢偏儀提供了強大的薄膜測量功能售價只是單一波長橢偏儀和光譜橢偏儀的中等水平。Film Sense 偏儀非常適合在研究實驗室教室，現場處理室，工業質量控制等等。

薄膜橢偏儀主要特點:

1、多個LED 光源(4或6，波長280-950nm，視系統而定)。

2、一體化設計，薄膜厚度橢偏儀探測器中無可移動部件。

3、具有良好的精度，對多個樣品的厚度優于 0.001 nm(1 秒鐘，甚至對于亞單層膜的hd也優于0.001 nm。

4、可通過現代計算機，筆記本電腦或平板電腦 Web 瀏覽器界面直接訪訪問軟件頁面，用于儀器控制和數據分析。

橢偏儀的優勢

1、壽命長(>50,000小時)，沒有耗時的對準或PM程序

2、快速測量時間(10ms內的多波長數據)和長期可靠性

3、只有橢偏儀才有的測量精度

4、沒有復雜的軟件設置和維護

如：

Film Sense 薄膜橢偏儀在測量透明單層薄膜的hd和折射率方面表現出色。上限厚度取決于橢偏儀系統(通常為 2-5 微米)， 但也取決于基底和薄膜的光學常數。與任何偏儀系統一樣， 為了獲得準確的折射率測量結果，需要有最小薄膜(通常為 10 納米)。

光吸收薄膜也可以被測量，但數據分析變得更加復雜，因為需要薄膜的光學常數(折射率 n 和消光系數K值)。Film Sense 軟件包含了多種確定n 和值的方法:1)多樣品分析，2)聯合偏儀+透測量，和3)色散模型。對于吸收薄膜，上限厚度強烈依賴于材料的類型 ， 對于金屬薄膜，上限通常為50納米。

多波長偏儀還可以用于測量多層膜堆疊 (在某些情況下可達 5層)，這取決于各層的厚度和折射率。可以在 Film Sense 軟件中進行模擬，以確定特定樣品結構是否可行。對于某些樣品，還可以表征薄膜中的表面粗糙度和折射率梯度。

特點和規格

測量范圍為0- 5um 的大多數透明薄膜

典型的重復性: 0.015 nm

集成聚焦探頭，標準光斑尺寸: 0.8x19 毫米(可提供其他光斑尺寸)

電動Z型載物臺用于樣品自動對準

靈活的掃描模式編輯器

測量參數的等高線圖和3D圖。

具有6個波長的橢圓測量數據 (405、450、525、660、850、950納米)采用長壽命 LED 光源，無移動部件的探測器