北京伊微視科技有限公司
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Profilm3D白光干澀輪廓儀
低成本-高精度
Filmetrics的 Profilm3D/Profilm3D-200讓3D光學輪廓測量的價格變得更加能夠接受。Profilm3D使用先進的垂直干涉掃描(WLI)與高精度的相位干涉(PSI)技術。以前所未有的價格實現次納米級的表面形貌研究。
輪廓儀標準配置
1、自動XY移動平臺
2、100mmx100mm移動范圍 (Profilm3D)
3、200mmx200mm移動范圍(Profilm3D-200)
4、100mm自動聚焦范圍
5、4孔物鏡轉臺
6、+/-5°水平可調樣品臺
7、業界領先的500um壓電陶瓷行程
8、業界領先的10倍物鏡下2mm視場范圍
輪廓儀參數: Profilm3D
XY樣品臺移動范圍:100mm x 100mm
樣品寬度:265mm
設備尺寸:WxDxH:305mm x305mmx550mm
設備重量:15kg
輪廓儀參數: Profilm3D-200
XY樣品臺移動范圍:200mm x 200mm
樣品寬度:365mm
