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Inficon 真空計 型號:TR48-PEG100-351-000庫號：M408162
測量范圍廣：5 X 10-7～1 Pa
全金屬冷陰極陶瓷傳感器
幾何電極提供了的點火性能
降低等子點火高電壓和鈦陰極板污染的危險，即使在氬濺射過程中也一樣
陽極環和鈦陰極可清洗，換容易
小磁場強度測量
指示燈電源和等子點火
對數模擬輸出信號
Fieldbus總線接口(Profibus DB, DeviceNet),集成到真空系統的網絡通信
用 途
高真空壓強監測
蒸發和濺射系統
中, 高真空范圍的一般真空測量與控制
測量范圍廣：5 X 10-7～1 Pa
全金屬冷陰極陶瓷傳感器
幾何電極提供了的點火性能
降低等子點火高電壓和鈦陰極板污染的危險，即使在氬濺射過程中也一樣
陽極環和鈦陰極可清洗，換容易
小磁場強度測量
指示燈電源和等子點火
對數模擬輸出信號
Fieldbus總線接口(Profibus DB, DeviceNet),集成到真空系統的網絡通信
用 途
高真空壓強監測
蒸發和濺射系統
中, 高真空范圍的一般真空測量與控制
測量范圍廣：5 X 10-7～1 Pa
全金屬冷陰極陶瓷傳感器
幾何電極提供了的點火性能
降低等子點火高電壓和鈦陰極板污染的危險，即使在氬濺射過程中也一樣
陽極環和鈦陰極可清洗，換容易
小磁場強度測量
指示燈電源和等子點火
對數模擬輸出信號
Fieldbus總線接口(Profibus DB, DeviceNet),集成到真空系統的網絡通信
用 途
高真空壓強監測
蒸發和濺射系統
中, 高真空范圍的一般真空測量與控制
測量范圍廣：5 X 10-7～1 Pa
全金屬冷陰極陶瓷傳感器
幾何電極提供了的點火性能
降低等子點火高電壓和鈦陰極板污染的危險，即使在氬濺射過程中也一樣
陽極環和鈦陰極可清洗，換容易
小磁場強度測量
指示燈電源和等子點火
對數模擬輸出信號
Fieldbus總線接口(Profibus DB, DeviceNet),集成到真空系統的網絡通信
用 途
真空計真空計真空計真空計
高真空壓強監測
蒸發和濺射系統
中, 高真空范圍的一般真空測量與控制
