- 企業類型：制造商
- 新舊程度：全新
- 原產地：北京
- 尺寸：參考說明書
- 重量：參考說明書
壓電六軸并聯系統Free6D.3-2.150系列選型表
型號 | Free6D.3-2.150 |
外形尺寸（mm） | ?150×112 mm |
主體材料 | 不銹鋼/鋁合金 |
運動參數 | |
行程 X, Y, Z | ± 9 mm, ± 9 mm, ± 5 mm |
行程 ΘX, ΘY , ΘZ | ± 10 °, ± 10 °, ± 20 ° |
單向重復定位精度 X, Y, Z | ± 0.3 um, ± 0.3 um, ± 0.1 um |
單向重復定位精度 ΘX，ΘY，ΘZ | ± 5 urad, ± 5 urad, ± 5 urad |
最小位移 X, Y, Z | 0.1 um, 0.1 um, 0.1 um |
最小位移 ΘX，ΘY，ΘZ | 5 urad, 5 urad, 5 urad |
位置傳感參數 | |
集成傳感器 | 光學編碼器 |
位置傳感分辨率 | - 光柵尺傳感（.O ），10 nm(默認); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可選 |
控制器信息 | |
工作電壓 | 220 V |
控制器通道 | 6通道輸出控制 |
通訊接口 | USB，232，網口通訊 |
控制軟件 | 提供PC端使用軟件，支持labview，串口命令集控制 |
壓電六軸并聯系統Free6D.3-2.150系列尺寸圖
