高精度旋轉平臺
高精度旋轉平臺基于粘滑仿生運動原理及整/亞步復合納米運動技術，提供連續旋轉的同時保證納米級分辨率，擁有極高的可拓展性和可集成性。
1、典型應用
樣品檢驗
精密微組裝
光路切換
顯微及納米CT
機器視覺
半導體檢測
2、技術特點
高精度、高穩定性
高運動速度
輕量化設計且結構緊湊
支持開環和閉環模式
超高真空兼容性
可提供軸心補償模塊抑制軸心晃動
高可靠性及模塊化設計，摩擦單元可替換
滿足各種應用場景
3、2D尺寸圖
4、規格參數
JKZC-RP-100C | 單位 | |
傳感器類型 | 光柵編碼器 | |
行程 | 360 (θZ) | ° |
驅動類型 | 壓電陶瓷 | |
豎直負載 | 4 | kg |
最小步長 | 0.4 | μrad |
單向重復定位精度(@360°) | ±1.5 | μrad |
雙向重復定位精度(@360°) | ±2.5 | μrad |
轉動力矩 | 0.3 | Nm |
尺寸 | φ100x17 | mm |
工作溫度 | 10-50 | ℃ |
電氣接口 | D-sub9 | |
屏蔽線纜長度 | 2 | m |
材料 | 鋁合金/鈦合金 | |
真空(可選) | 超真空兼容(5x109) | mbar |
5、適配控制器
