高精度晶圓對位平臺
高精度晶圓對位平臺采用音圈電機直接驅動的并聯機械結構設計，具有速度快、剛度高、承載能力強等優點。滿足工業產線上高精度、高頻率的對位、綁定、貼合、組裝等應用需求。
1、典型應用
納米壓印技術
顯微操作
視覺伺服
激光加工
光學對準測量
微電子制造業
2、技術特點
高精度、高穩定性
大偏轉角度
承載大
內置超精密光柵位移傳感器實現全閉環解耦控制
響應速度快
剛度高
頻率高
3、2D尺寸圖
4、規格參數
JKZC-XYR-10B | 單位 | |
運動軸 | X,Y,θZ | |
驅動類型 | 音圈電機 | |
X/Y閉環行程 | ±10/±10 | mm |
θZ偏轉角度 | ±3 | ° |
豎直負載 | 10 | kg |
閉環分辨率 | 12.5 | nm |
最小步長 | 100/100 | nm |
最小轉動分辨率 | 1.4 | μrad |
無負載諧振頻率 | 160 | HZ |
傳感器類型 | 光柵編碼器(玻璃光柵) | |
自重 | 22 | kg |
尺寸(LxWxH) | 380x380x85 | mm |
工作溫度 | -20-100 | ℃ |
電氣接口 | D-sub9 | |
線纜長度 | 2 | m |
真空(可選) | 超真空兼容(5x10) | mbar |
5、適配控制器
