高速納米掃描臺
高速納米掃描臺基于音圈電機(jī)驅(qū)動和高精度導(dǎo)向模組實現(xiàn)納米級超高分辨力的定位/掃描直線運動,內(nèi)置光柵位移傳感器,具有納米級運動分辨率和運動精度,同時兼具高速、高動態(tài)位移定位和掃描功能。

1、典型應(yīng)用
光學(xué)系統(tǒng)中透鏡的定位
機(jī)械工具的多坐標(biāo)定位平臺
醫(yī)學(xué)裝置中精密電子管、真空管控制
柔性機(jī)器人中使未端執(zhí)行器快速定位
2、技術(shù)特點
超高定位精度
高動態(tài)特性
多運動模式:定位/掃描
超長行程
3、2D尺寸圖

4、規(guī)格參數(shù)
JKZC-Z-10A | 單位 | |
運動軸 | Z(可橫放) | |
驅(qū)動類型 | 音圈電機(jī) | |
音圈頻率 | ≤20 | Hz |
Z向行程 | 10 | mm |
豎直負(fù)載 | 800 | g |
分辨率 | 1.22 | nm |
最小步長 | 5 | nm |
傳感器類型 | 光柵編碼器 | mm |
尺寸(LxWxH) | 90x112x62 | ℃ |
工作溫度 | 10-50 | |
電氣接口 | D-sub9(可定制 | |
線纜長度 | 2 | m |
材料 | 鋁合金/鈦合金 | |
真空(可選) | 超真空兼容(5x10) | mbar |
5、適配控制器



















