高精度JKZC-IM系列
JKZC-IM系列高精度六自由度并聯運動平臺可實現多自由度運動，動態范圍大，承載大，穩定性強，任意指定轉動中心，可滿足各種工業需求，適應大氣和真空環境。廣泛應用于顯微操縱、生物技術、半導體制造等。
1、典型應用
半導體封測
主動光學
生物技術
視覺裝配
顯微操縱
光纖校準
2、技術特點
亞納米級定位穩定性
納米級閉環運動分辨力
無摩擦柔性鉸鏈導向
大負載
空間多自由度
各級真空兼容性
3、2D尺寸圖
4、規格參數
支持非標定制 | JKZC-IM-86 | 單位 |
運動軸 | X,Y,Z,θX,θY,θZ | |
傳感器類型 | 光柵傳感器 | |
驅動類型 | 壓電陶瓷 | |
X/Y/Z閉環行程 | 10/10/6 | mm |
θX/θY/θZ閉環行程 | ±3/±3/±2 | * |
Z向最小位移增量 | 5 | nm |
θX,θY最小位移增量 | 15,15 | °μ |
Z向速度 | 4 | mm/s |
θX,θY速度 | 1.5 | °/s |
負載能力 | 3 | N |
材料 | 鋁合金 | |
自重 | 1.12 | kg |
工作溫度 | 0-50 | ℃ |
尺寸 | φ175x86.58 | mm |
5、適配控制器
