二維高速壓電偏擺鏡
二維高速壓電偏擺鏡 采用差分驅(qū)動(dòng)與差分傳感設(shè)計(jì)，通過(guò)負(fù)載平面的兩軸(θx,θy)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)高精密指向與調(diào)姿，輸出扭矩大，響應(yīng)速度快，控制精度高。
1、典型應(yīng)用
激光雷達(dá)光學(xué)穩(wěn)像
空間激光通訊
激光束穩(wěn)定
超分辨率光學(xué)成像
2、技術(shù)特點(diǎn)
壓電直驅(qū)式精密設(shè)計(jì)
高精度柔性鉸鏈設(shè)計(jì)，光學(xué)負(fù)載魯棒性強(qiáng)
支持光機(jī)對(duì)準(zhǔn)、跟蹤及動(dòng)態(tài)掃描等復(fù)雜伺服需求
嵌入式納米位移傳感器系統(tǒng)
超高指向精度、高動(dòng)態(tài)、低噪聲
兼容空間及高真空等特殊環(huán)境
3、2D尺寸圖
4、規(guī)格參數(shù)
JKZC-PZT-UV-35 | 單位 | |
運(yùn)動(dòng)軸 | θX,θY | |
傳感器類型 | SGs | |
驅(qū)動(dòng)類型 | 壓電陶瓷 | |
閉環(huán)行程 | ±4 | mrad |
閉環(huán)分辨率 | ±0.05 | μrad |
最小轉(zhuǎn)動(dòng)角度 | 1 | μrad |
線性度 | 0.05 | % |
諧振頻率 | 800 | HZ |
響應(yīng)時(shí)間 | 2 | ms |
負(fù)載 | 300 | g |
自重 | 0.28 | kg |
電氣接口 | D-sub9 | |
尺寸(LxWxH) | 92.5x35x35 | mm |
材料 | 鋁合金/鈦合金 | |
真空(何選) | 超真空兼容(5x109) | mbar |
5、適配控制器
