電容式微位移傳感器(平板型)
電容式微位移傳感器基于電容電極間均勻電場變化時電容值的變化量來實現納米級位移的測量。可實現非接觸測量，保證了極高的測量分辨率、線性度以及高測量帶寬，滿足各種應用場景下納米級的測量需求。
1、典型應用
納米級運動測量
精密光學制造
超精密機床
超精密面型測量
微細形變測量
集成電路制造
2、技術特點
百微米至數千微米級測量范圍
超高精度(皮米級極限分辨率)、高線性度、低漂移
高帶寬高動態測量
可針對真空及空間等特殊環境定制
3、2D尺寸圖
4、規格參數
JKZC06-100 | JKZC10-200 | 單位 | ||
傳感器類型 | 電容式 | |||
直徑 | 4.8 | 8.9 | mm | |
探測區直徑 | 2.3 | 5.8 | mm | |
長度 | 6 | 6 | mm | |
屏蔽厚度 | 0.9 | 1.5 | mm | |
量程 | 100 | 200 | μm | |
分辨率RMS | 2Hz | 0.02 | 0.04 | nm |
25Hz | 0.04 | 0.08 | nm | |
1kHz | 0.11 | 0.21 | nm | |
2kHZ | 0.15 | 0.30 | nm | |
線性度 | 0.015 | 0.015 | % | |
默認帶寬 | 2 | 2 | kHZ | |
重復性 | 0.21 | 0.39 | nm | |
工作溫度范圍 | -20-100 | ℃ | ||
材質 | Aluminum 6061/ Invar 36/ Stainless steel 316/ Super invar 32-5 | |||
適用電纜 | 1.5m,2m, 2.5m | |||
真空(何選) | 超真空兼容(5x10-9) | mbar | ||
真空版型號 | JKZC06-100-HV | JKZC12-200-HV |
5、適配控制器
微型單通道傳感器主機CDM10OS
三通道傳感器主機CDM300
六通道傳感器主機CDM600
