JKZC-Z-10AT長行程壓電升降臺
JKZC-Z-10AT長行程壓電升降臺基于粘滑仿生運動原理及整/亞步復合納米運動技術(shù)，具有數(shù)厘米級行程和納米級運動精度。
1、典型應用
掃描電鏡(SEM)樣品操縱
主動光宇
超分辨成像樣品移動
大范圍電子束直寫(EBL)
微納裝備及制造
集成電路制造與檢測
高真空樣品精度對準及調(diào)姿
納米聚焦與掃描
顯微及納米CT
2、技術(shù)特點
超長行程:10mm
高分辨率:傳感器分辨率為1.22nm
超高精度:最小步長2nm
運動速度:2mm/s
超高真空兼容性
運動模式:支持開環(huán)與閉環(huán)
輕量化、結(jié)構(gòu)緊湊，高可靠性
模塊化設計，摩擦單元可替換
3、2D尺寸圖
4、規(guī)格參數(shù)
NH-Z-10AT | 單位 | |
運動軸數(shù) | 1 | |
行程 | 10 | mm |
大負載 | 500 | g |
尺寸(LxWxH) | 60x60x37 | mm |
大速度 | 2 | mm/s |
分辨率 | 1.22 | nm |
最小步長 | 2 | nm |
傳感器類型 | 光柵編碼器(玻璃柵尺) | |
電氣接口 | D-sub9(可定制) | |
線纜長度 | 1 | m |
材料 | 鋁合金/鈦合金 | |
真空(可選) | 超真空兼容(5x10”) | mbar |
5、適配控制器
